কেন সেমিকন্ডাক্টর কারখানায় ESD সমস্যা সর্বদা ডেস্ক ম্যাট দিয়ে শুরু হয়

কেন সেমিকন্ডাক্টর কারখানায় ESD সমস্যা সবসময় "ডেস্ক ম্যাট" দিয়ে শুরু হয়?

সেমিকন্ডাক্টর কারখানার নিরাপত্তা ব্যবস্থাপনা সিস্টেমে, ESD (ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ডিসচার্জ) অদৃশ্য মনে হতে পারে, কিন্তু এটি একটি ঘন ঘন, সহজেই উপেক্ষা করা এবং অত্যন্ত ব্যয়বহুল লুকানো বিপদ। আরও গুরুত্বপূর্ণ, ESD ব্যর্থতার বেশিরভাগই সরাসরি "অ্যান্টি-স্ট্যাটিক রাবার ম্যাট/ডেস্ক ম্যাট" এর সাথে সম্পর্কিত। হ্যাঁ, মেশিন নয়, কর্মী নয়, প্রক্রিয়া নয়... কিন্তু পৃষ্ঠের উপাদান যা আপনি প্রতিদিন স্পর্শ করেন।

I. কেন ESD অসঙ্গতি সবসময় "ডেস্ক ম্যাট" দিয়ে শুরু হয়?

আপনি হয়ত এই পরিস্থিতিগুলি দেখেছেন: একটি কব্জিব্যান্ড সঠিকভাবে কাজ করছে, তবুও একটি ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক অ্যালার্ম এখনও বাজছে; গ্রাউন্ডিং স্বাভাবিক, তবুও পরীক্ষক মাঝে মাঝে ভেঙে যায়; কর্মীরা প্রবিধান অনুযায়ী কাজ করছে, তবুও ফলন কমেছে; সরঞ্জামগুলি সরানো হয়নি, তবুও ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক সেন্সরটি লাল ঝলকানি করছে৷ অনেক নিরাপত্তা কর্মকর্তার প্রাথমিক প্রতিক্রিয়া হল সরঞ্জাম, গ্রাউন্ডিং তার এবং কর্মীদের অপারেশন পরীক্ষা করা। কিন্তু প্রকৃত মূল কারণ প্রায়শই: অ্যান্টি-অচল রাবার মাদুরের বার্ধক্য, প্যারামিটার ড্রিফট, পৃষ্ঠের দূষণ, বা রাসায়নিক দ্বারা ক্ষয় যা অনিয়ন্ত্রিত প্রতিরোধের দিকে পরিচালিত করে। এর কারণ হল অ্যান্টি-স্ট্যাটিক ম্যাট এমন একটি উপাদান যার সম্পূর্ণ অপারেশন চেইন জুড়ে অত্যন্ত উচ্চ যোগাযোগের ফ্রিকোয়েন্সি রয়েছে।

এটি নিম্নলিখিত উদ্দেশ্যে কাজ করে:

1. টুলিং বসানো

2. ওয়েফারের ব্যাচের অস্থায়ী বসানো

3. পণ্য যোগাযোগ বিরুদ্ধে সুরক্ষা

4. পরীক্ষার সরঞ্জামের নীচের পৃষ্ঠে ঘর্ষণ

5. স্ট্যাটিক বিদ্যুৎ স্রাব পরিচিতি

যদি স্টেজ ম্যাট ত্রুটিপূর্ণ হয়, অন্য সমস্ত ESD নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা ব্যর্থ হবে। এটি একটি ফাটল ভিত্তি সহ একটি মহাসড়কের মতো; এমনকি সেরা গাড়িও স্থিরভাবে চালাতে পারবে না।

২. কেন অ্যান্টি-স্ট্যাটিক ম্যাটগুলি "সম্ভাব্য ব্যর্থতার" প্রবণ?

"সম্ভাব্য ব্যর্থতা" সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে নিরাপত্তা কর্মকর্তাদের জন্য সবচেয়ে ঝামেলাপূর্ণ পরিস্থিতি। অ্যান্টি-স্ট্যাটিক ম্যাটগুলি অবিকল এমন একটি উপাদান যা সম্ভাব্য ব্যর্থতার জন্য সবচেয়ে বেশি ঝুঁকিপূর্ণ, তিনটি কারণে:

1. রাসায়নিক ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতার আকস্মিক পরিবর্তন ঘটায়। সেমিকন্ডাক্টর শিল্প প্রচুর পরিমাণে রাসায়নিক ব্যবহার করে: ডেভেলপার, ক্লিনিং এজেন্ট, আইপিএ, এচিং সলিউশন ইত্যাদি। যখন এই রাসায়নিকগুলি অ্যান্টি-স্ট্যাটিক স্টেজ ম্যাটের পৃষ্ঠে পড়ে, তখন তারা:

① মঞ্চ মাদুর পৃষ্ঠের পাতলা ESD স্তর ক্ষতি

② একটি অন্তরক দূষণ ফিল্ম গঠন

③ উপাদান বার্ধক্য এবং অবক্ষয় ত্বরান্বিত

ফলাফল হল: স্টেজ ম্যাট সূক্ষ্ম দেখায়, কিন্তু পরামিতিগুলি সম্পূর্ণরূপে ভেসে গেছে।

2. সারফেস ক্লিনার অবশিষ্টাংশ অপচয় কর্মক্ষমতা প্রভাবিত করে

অনেক কাজের দল শক্তিশালী ডিগ্রিজার বা সিলিকন{0}}সমৃদ্ধ ক্লিনার ব্যবহার করে একটি "দৃষ্টিগতভাবে পরিষ্কার" চেহারা বজায় রাখতে। এই অবশিষ্টাংশগুলি হতে পারে:

① দীর্ঘস্থায়ী ক্ষয় সময়

② অসম চার্জ জমে

③ "তাত্ক্ষণিক স্রাব পয়েন্ট" তৈরি করা

এই ধরনের ব্যর্থতাগুলি খুব ছলনাময় কিন্তু অত্যন্ত সংবেদনশীল উপাদানগুলির ক্ষতি করার সম্ভাবনা রয়েছে৷

3. বার্ধক্যের কারণে আয়তনের প্রতিরোধ ক্ষমতা 10⁸Ω থেকে 10¹²Ω বেড়ে যায়

অ্যান্টিস্ট্যাটিক রাবার ম্যাটগুলি পলিমার উপকরণ। দীর্ঘায়িত এক্সপোজার:

① তাপমাত্রা পরিবর্তন

② অতিবেগুনী বিকিরণ

③ ঘর্ষণ

④ জারা

এই সব প্রতিরোধের মান বৃদ্ধি ঘটাবে. একটি সাধারণ উদাহরণ হল: "মাদুরটি ব্যবহারযোগ্য দেখায়, তবে প্রতিরোধটি জাতীয় মান পরিসীমার বাইরে।"

III. অ্যান্টিস্ট্যাটিক ম্যাটগুলির জন্য বিভিন্ন মানগুলির নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তাগুলি কী কী?

নিরাপত্তা কর্মকর্তারা প্রায়শই মানগুলির সম্মুখীন হন: *SJ/T 10694-2022 ইলেকট্রনিক পণ্য উত্পাদন এবং অ্যাপ্লিকেশন সিস্টেমের জন্য ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ডিসচার্জ সুরক্ষা পরীক্ষা পদ্ধতি*, *ANSI ESD S20.20-2021 ESD কন্ট্রোল সিস্টেম, *Electrostatic* 51345-5-1-2024 ইলেকট্রনিক ডিভাইসের জন্য ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ডিসচার্জ সুরক্ষা - সাধারণ প্রয়োজনীয়তা*। এছাড়াও, আমার দেশের বিভিন্ন জাতীয় এবং শিল্প মান রয়েছে, যেমন চীনা সামরিক মান এবং অস্ত্র শিল্প মন্ত্রকের শিল্প মান, যা গোপনীয়তার প্রয়োজনীয়তার কারণে বিশদভাবে বলা হবে না। বিভিন্ন স্ট্যান্ডার্ডের প্রয়োজনীয়তাগুলি সংক্ষিপ্ত করা হয়েছে, এই শর্তে যে অ্যান্টিস্ট্যাটিক টেবিল ম্যাট/রাবার সামগ্রীগুলির জন্য অবশ্যই পরীক্ষা করা উচিত:

① বিন্দু-প্রতি-বিন্দু রেজিস্ট্যান্স

② স্থল প্রতিরোধের-প্রতি-বিন্দু

এটি একটি টেবিল ম্যাট যোগ্য কিনা তা বিচার করার ভিত্তি।

তদুপরি, ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক স্রাব ক্ষয় সময় এবং ট্রাইবোইলেকট্রিক ভোল্টেজ পরামিতিগুলিকে একত্রিত করার সুপারিশ করা হয়, কারণ এইগুলি ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক স্রাব শক্তি গণনা করার জন্য গুরুত্বপূর্ণ পরামিতি।

এটি স্পষ্টভাবে উল্লেখ করে:

① অ্যান্টি-স্ট্যাটিক ম্যাটের প্রতিরোধ অবশ্যই 1*10⁹ Ω এর মধ্যে রাখতে হবে;

② আকস্মিক স্রাব এবং স্পার্ক স্রাব প্রতিরোধ করুন;

③ চার্জ জমে প্রতিরোধ করুন।

এই প্রয়োজনীয়তাগুলি হল "অনিয়ন্ত্রিত স্রাব" এড়াতে যা সেমিকন্ডাক্টর নির্মাতারা সবচেয়ে বেশি ভয় পায়।